潔凈棚的潔凈度往往受到氣流的影響，換而言之，即人、機器設備、建筑結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。　潔凈棚根據凈化等級的要用HEPA過濾器、ULPA超空氣過濾器過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，以滿足凈化空氣的要求。

潔凈棚內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度在0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風區域，易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿足要求的潔凈度水準之時，能以zui適當的風速供應，以達到適當的風速供應以達到經濟性效果?！×硪环矫嬗_到潔凈室潔凈度之穩定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發生渦流作用，此時要實現高潔凈度事實上很困難?！〈怪睂恿魇椒较蛞３志粴饬鞅仨殻?span lang="EN-US" style="font-size: medium; margin: 0px; padding: 0px; ">(a)吹出面的風速不可有速度上的差異；(b)地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現象發生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。　影響因素　影響潔凈棚的氣流因素很多，如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時對于生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。